xrf熒光光譜儀采用兩種分光技術，一是通過分光晶體對不同波長的X-熒光進行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長處X-熒光強度，這項技術稱為波長色散光譜。另一項技術是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過探測器轉變成電脈沖信號，經前置放大后，用多道脈沖高度分析器進行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡稱X-熒光能譜。
xrf熒光光譜儀的特征譜線的產生是基于不同的機理：
a、入射X射線轟擊原子的內層電子，如果能量大于它的吸收邊，該內層電子被驅逐出整個原子（整個原子處于高能態，即激發態）。
b、較高能級的電子躍遷，補充空穴，整個原子回到低能態，即基態。
c、由高能態轉化為低能態，釋放能量。
d、能量如果以X射線的形式釋放，則會產生X射線熒光。
xrf熒光光譜儀系統特點如下：
1、軟件系統
單道、雙道同時檢測功能。
2、外觀設計
采用流行的機箱設計，整體結構簡單，操作方便，具有良好的電磁兼容性。
3、光路系統
采用具有金索坤特色的短焦不等距無色散光路系統，比使用短焦等距光路系統接收的熒光信號強度提高了倍。
4、進樣系統
采用了的特制大滾輪單泵雙通路進樣技術，既可實現傳統進樣方式，又可實現具有金索坤發明技術的連續流動進樣方式。使得管路路徑短，記憶效應小;連接簡單，操作方便，便于維護。
5、氣路傳輸系統
具有金索坤技術的氣體傳輸室，在極大地縮短了管路，有效地消除記憶效應的同時使氫化反應生成的氫氣、被測元素氣體和載氣充分混勻后傳輸到原子化器。為被測元素能夠地原子化奠定了基礎。
6、電路系統
其中光源控制部分采用占空比可調式雙路脈沖供電，根據測試不同元素可選擇不同占空比，既提高了高性能空心陰極燈的強度，又延長了燈的使用壽命。
